发明名称 |
Vacuum pump |
摘要 |
<p>Die Erfindung beschreibt eine Vakuumpumpe, welche aus einer zweiflutigen Gasreibungspumpe (6) und (7) und aus einer nachgeschalteten Pumpe (9) besteht. Die Gasströme der zweiflutigen Gasreibungspumpe werden innerhalb der Pumpe durch Verbindungselemente (26) zusammengeführt und durch die nachfolgende Pumpe (9) auf Atmosphärendruck verdichtet. Die Gasreibungspumpe ist vorteilhafterweise als zweiflutige Holweckpumpe und die nachgeschaltete Pumpe als Seitenkanalpumpe ausgebildet. Die kompakte Bauweise der Pumpe wird noch ergänzt durch die Tatsache, daß die Statorelemente (15) der Seitenkanalpumpe aus ungeteilten Scheiben bestehen. Diese Bauweise wird ermöglicht durch Rotorscheiben (13), welche durch Klemmringe (14) auf dem Rotor (4) befestigt sind. <IMAGE></p> |
申请公布号 |
EP1067290(A2) |
申请公布日期 |
2001.01.10 |
申请号 |
EP20000112483 |
申请日期 |
2000.06.13 |
申请人 |
PFEIFFER VACUUM GMBH |
发明人 |
BLECKER, ARMIN;EBERL, WOLFGANG;LOTZ, HEINRICH;REICHHART, HEINZ |
分类号 |
F04D17/16;F04D19/04;F04D29/22;F04D29/44;(IPC1-7):F04D19/04;F04D29/26 |
主分类号 |
F04D17/16 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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