| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR TESTING OF SHEET MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1066649(A1) |
申请公布日期 |
2001.01.10 |
| 申请号 |
EP19990912854 |
申请日期 |
1999.03.23 |
| 申请人 |
LEHIGHTON ELECTRONICS INC. |
发明人 |
BLEW, AUSTIN, R. |
| 分类号 |
G01N21/86;G01N21/958;H01L21/00;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00;B25J15/00 |
主分类号 |
G01N21/86 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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