| 发明名称 |
Method and apparatus for dry vapor generation |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0874193(B1) |
申请公布日期 |
2001.01.10 |
| 申请号 |
EP19980113092 |
申请日期 |
1995.04.18 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
EBBING, PETER F.;CHUC, KIEN N. |
| 分类号 |
H01L21/304;B01D1/30;F22B1/28;F28F19/01;(IPC1-7):F22B1/28 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
