| 发明名称 |
Titanium nitride barrier layers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0791663(B1) |
申请公布日期 |
2001.01.10 |
| 申请号 |
EP19970301256 |
申请日期 |
1997.02.26 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
FU. JIANMING;CHEN, FUSEN;XU, ZHENG |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/16;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):C23C14/06 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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