发明名称 DEVICE AND METHOD FOR PLASMA TREATMENT
摘要
申请公布号 EP0760526(A4) 申请公布日期 2001.01.10
申请号 EP19950918726 申请日期 1995.05.17
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KAJI, TETSUNORI;KANAI, SABURO;ITO, SATOSHI;HAMASAKI, RYOUJI;ONO, TETSUO;USUI, TATEHITO;TAKAHASHI, KAZUE;TAGO, KAZUTAMI
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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