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发明名称
Method and apparatus for manufacturing semiconductor device
摘要
申请公布号
GB0028487(D0)
申请公布日期
2001.01.10
申请号
GB20000028487
申请日期
2000.11.22
申请人
NEC CORPORATION
发明人
分类号
H01L21/302;G03F7/40;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/768
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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