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发明名称
摘要
申请公布号
JP3122175(B2)
申请公布日期
2001.01.09
申请号
JP19910219229
申请日期
1991.08.05
申请人
发明人
分类号
C23C14/54;C23C16/50;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/00;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306
主分类号
C23C14/54
代理机构
代理人
主权项
地址
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