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发明名称
摘要
申请公布号
JP3123494(B2)
申请公布日期
2001.01.09
申请号
JP19970353868
申请日期
1997.12.22
申请人
发明人
分类号
H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320
主分类号
H01L21/285
代理机构
代理人
主权项
地址
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