发明名称 Annealing an amorphous film using microwave energy
摘要
申请公布号 US6172322(B2) 申请公布日期 2001.01.09
申请号 US08/965939 申请日期 1997.11.07
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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