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发明名称
摘要
申请公布号 JP3123156(B2) 申请公布日期 2001.01.09
申请号 JP19910310379 申请日期 1991.11.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/50;(IPC1-7):H01L21/50 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
主权项
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