| 发明名称 |
Discharge electrode, high-frequency plasma generator, method of power feeding, and method of manufacturing semiconductor device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU5249600(A) |
申请公布日期 |
2001.01.09 |
| 申请号 |
AU20000052496 |
申请日期 |
2000.06.16 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD. |
发明人 |
HIDEO YAMAKOSHI;KOJI SATAKE;MINORU DANNO |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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