| 摘要 |
<p>본 고안은 반도체 로드락챔버의 외부 도어와 연결된 제 1 축이 회전하는 것을 방지하는 반도체 로드락챔버의 외부 도어에 관한 것이다. 본 고안에 따른 반도체 로드락챔버의 외부 도어는, 로드락챔버의 웨이퍼 출입구를 폐쇄시킬 수 있으며, 소정부에 가로방향 홈이 형성된 도어와, 상기 홈에 삽입 고정된 제 1 축과, 상기 제 1 축이 삽입 연결되는 제 1 관통홀이 전단부에 형성되어 있고, 고정축으로 작용하는 제 2 축이 삽입 연결되는 제 2 관통홀이 중간부에 형성되어 있고, 제 3 관통홀이 후단부에 형성된 실린더 플레이트와, 상기 제 3 관통홀을 이용하여 연결되어 피스톤동작을 수행하여 상기 도어가 제 2 축을 중심으로 회전할 수 있도록 하는 피스톤을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 로드락챔버의 외부 도어에 있어서, 상기 제 1 축은 상기 홈 내부에서 회전되는 것이 방지되도록 소정부가 각이진 봉형상으로 이루어지거나 고정나사에 의해서 고정되어 있는 것을 특징으로 한다. 따라서, 제 1 축의 회전에 의해서 로르락챔버에서 리크가 발생하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.</p> |
