| 发明名称 |
Apparat und Methode zur Temperaturregelung mit umlaufendem Kühlmittel |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE69424270(T2) |
申请公布日期 |
2001.01.04 |
| 申请号 |
DE19946024270T |
申请日期 |
1994.08.22 |
| 申请人 |
FSI INTERNATIONAL, INC. |
发明人 |
SLOAN, BEN J.;REED, WILLIAM G. |
| 分类号 |
B23Q11/14;B01L7/00;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/26;G05D23/00;G05D23/19;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/683;(IPC1-7):G05D23/19;H01L21/30;B01L7/02 |
主分类号 |
B23Q11/14 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
