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发明名称 Entspiegelte Beschichtungszusammensetzung
摘要
申请公布号 DE69516942(T2) 申请公布日期 2001.01.04
申请号 DE19956016942T 申请日期 1995.06.28
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 WATANABE, SATOSHI;ISHIHARA, TOSHINOBU;KANEKO, ICHIRO;OIKAWA, KATSUYUKI;TAKEDA, YOSHIHUMI
分类号 G03F7/11;C08G73/10;C08L79/08;C09D179/08;G02B1/11;H01L21/027;(IPC1-7):C09D179/08;G02B1/10 主分类号 G03F7/11
代理机构 代理人
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