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发明名称 Resolving power evaluation method and specimen for electron microscope
摘要
申请公布号 EP0877409(A3) 申请公布日期 2001.01.03
申请号 EP19980108340 申请日期 1998.05.07
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KITAGAWA, TAIJI;SATO, MITSUGU;SHIMOMA, GOROKU;TAKAHASHI, TADANORI;YOSHIDA, NAOTO;YUKII, MASAYUKI;NINOMIYA, TAKANORI;HORIUCHI, TATSUO;KAWAME, KEISUKE
分类号 G01N1/00;G01N1/28;H01J37/22;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 G01N1/00
代理机构 代理人
主权项
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