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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR DEPOSITION AND ETCHING OF A DIELECTRIC LAYER
摘要
申请公布号 EP1064416(A1) 申请公布日期 2001.01.03
申请号 EP19990912836 申请日期 1999.03.22
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 ROSSMAN, KENT
分类号 C23C16/04;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):C23C16/40;H01L21/310 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
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