| 发明名称 |
RELIABLE VIA STRUCTURES HAVING HYDROPHOBIC INNER WALL SURFACES AND METHODS FOR MAKING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1064676(A1) |
申请公布日期 |
2001.01.03 |
| 申请号 |
EP19990965039 |
申请日期 |
1999.11.24 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
ANNAPRAGADA, RAO, V. |
| 分类号 |
H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/465 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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