利用衍射光学显现表面轮廓的方法和装置

摘要

用于测量表面形貌的光学系统，它包括光源（３０），由二个或多个衍射光栅，全息光栅等衍射光学元件（１２０、１３０；１２２、１３２；１２３、１３３）组成的衍射光学组件（７０、７２、７３），以及用于从干涉数据测定表面高度的电子探测装置和数字信号处理装置，衍射光学组件把入射光分成两束，并以不同的入射角射到物体（２０）的表面（７０）上的相同位置处，经过物体表面反射后，光束分开地向后通过衍射光学组件，之后他们再次复合在一起，形成代表表面形貌的干涉图样，最后干涉图样的等效波长大于照明光的波长。

主权项

1．一种在有效的工作距离处利用减感的干涉条纹来显现物体表面轮廓的方法，它包括下述步骤：使用一光源照明衍射光学组件，把照明所述衍射光学组件的源光分成两束，他们以不同的方向通过所述的衍射光学组件传播，所述的出自所述衍射光学组件的光束在位于适当工作距离处的所述物体表面上与以两个不同入射角射向物体表面相同位置处的光束重叠，将所述的入射光束从物体的表面向后反射到所述的衍射光学组件，所述反射光束在不同的方向向后通过所述的衍射光学组件返回，使向后通过所述衍射光学组件的所述反射光束复合，形成表示所述物体表面轮廓的干涉图样，所述的干涉图样对表面形变和粗糙度具有减感性。