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发明名称
Measuring apparatus and method for making the same
摘要
申请公布号
EP1030174(A3)
申请公布日期
2001.01.03
申请号
EP19990125340
申请日期
1999.12.20
申请人
MICRONAS GMBH
发明人
IGEL, GUENTER DIPL.ING.;GAHLE, JUERGENDR.ING.;LEHMANN, MIRKO
分类号
G01N21/64;G01N21/03;G01N27/07;G01N27/22;(IPC1-7):G01N27/07
主分类号
G01N21/64
代理机构
代理人
主权项
地址
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