| 发明名称 |
Semiconductor wafer holder with process data memory |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2351606(A) |
申请公布日期 |
2001.01.03 |
| 申请号 |
GB20000012077 |
申请日期 |
2000.05.18 |
| 申请人 |
* LINTEC CORPORATION |
发明人 |
YUICHI * IWAKATA;HAYATO * NOGUCHI;KATSUHISA * TAGUCHI |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/00;H01L21/301;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
