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经营范围
发明名称
Two chamber plasma processing apparatus
摘要
申请公布号
US6167835(A)
申请公布日期
2001.01.02
申请号
US09/047935
申请日期
1998.03.26
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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