Shadow ring and guide for supporting the shadow ring in a chamber,申请号US09/200305-传众专利搜索

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发明名称	Shadow ring and guide for supporting the shadow ring in a chamber
摘要
申请公布号	US6168668(A)	申请公布日期	2001.01.02
申请号	US09/200305	申请日期	1998.11.25
申请人		发明人
分类号		主分类号
代理机构		代理人
主权项
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