Method of removing surface oxides found on a titanium oxynitride layer using a nitrogen containing plasma,申请号US08/975449-传众专利搜索

发明名称	Method of removing surface oxides found on a titanium oxynitride layer using a nitrogen containing plasma
摘要
申请公布号	US6169027(A)	申请公布日期	2001.01.02
申请号	US08/975449	申请日期	1997.11.21
申请人		发明人
分类号		主分类号
代理机构		代理人
主权项
地址