Electrostatically screened, voltage-controlled electrostatic chuck,申请号US09/268166-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Electrostatically screened, voltage-controlled electrostatic chuck
摘要
申请公布号	US6169652(A)	申请公布日期	2001.01.02
申请号	US09/268166	申请日期	1999.03.12
申请人		发明人
分类号		主分类号
代理机构		代理人
主权项
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