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Vorrichtung zur lokalen Erzeugung eines Plasmas in einer Behandlungskammer (3) durch Mikrowellenanregung, die aus mindestens zwei waagerecht nebeneinander angeordneten, die Behandlungskammer (3) durchlaufenden Rohren (2, 2') besteht, in denen innen jeweils mittig ein durchgängiger Innenleiter (1, 1') angeordnet ist, der außerhalb der Behandlungskammer (3) an mindestens einem Endbereich mit einer Mikrowellenerzeugungseinrichtung verbunden ist. Bei der Vorrichtung ist mindestens zwischen zwei benachbarten Rohren (2, 2') senkrecht eine Trennwand (4) aus elektrisch leitfähigem Material angeordnet.
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