Zeilen-OCT als optischer Sensor für die Meß- und Medizintechnik

摘要

Vorrichtung zur Aufnahme von Tiefenprofilen in einer Probe mit einem bzgl. eines Referenzzeitpunktes zu einem Meßstrahl koherenten Referenzstrahls und mit einer Einrichtung zur räumlichen Überlagerung des von der Probe reflektierten Meßstrahls mit dem Referenzstrahl, wobei dieser Einrichtung eine Auswerteeinheit mit einem Detektor zugeordnet ist, wobei der Referenzstrahl (9) und der Meßstrahl (7) bei einer mindestens auf einem Teilbereich (27) überlappenden flächigen Bestrahlung einer dem Detektor (25) zugeordneten Sensorfläche (29) in einem Abstand (35) voneinander angeordnet sind.