| 发明名称 |
Vorrichtung und Verfahren zum Reinigen eines Filters |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE4130640(C2) |
申请公布日期 |
2000.12.28 |
| 申请号 |
DE19914130640 |
申请日期 |
1991.09.14 |
| 申请人 |
ALD VACUUM TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
SCHWARZ, WOLFGANG |
| 分类号 |
B01D46/04;B01D46/48;(IPC1-7):B01D46/04 |
主分类号 |
B01D46/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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