发明名称 |
微机械力学性能测试仪 |
摘要 |
一种微机械力学性能测试仪,由压头卡具、真空装夹机构、Z向驱动装置、激光器、X/Y工作台、电容测微仪、CCD摄像机等组成,薄膜、MEMS器件、各种微机械小器件的力学性能测试,对不同尺度、下体积材料和微小构件力学性能进行研究。 |
申请公布号 |
CN2412212Y |
申请公布日期 |
2000.12.27 |
申请号 |
CN00226180.4 |
申请日期 |
2000.03.09 |
申请人 |
西安交通大学 |
发明人 |
蒋庄德;王海容;赵则祥;王朝晖;陈伟;伊燕玲;赵玉龙 |
分类号 |
G01L3/10 |
主分类号 |
G01L3/10 |
代理机构 |
西安交通大学专利事务所 |
代理人 |
贾玉健 |
主权项 |
1、微机械力学性能测试仪,包括一底座(7),在底座(7)上连接有倒U形支架(6)和Z向驱动装置(5),其特征在于,所说的Z向驱动装置(5)上固定一X/Y工作台(4),工作台(4)内配置一力传感器(3),X/Y工作台(4)上部装有真空装夹机构(10),倒U形支架(6)内上部装有进给装置(11),在进给装置(11)的输出端连接压头卡具(1),压头卡具(1)上固定有装点压头(12),在压头(12)靠近压入位置固定一平板(13),电容测微仪(8)的两极板,一端固定在平板(13)上,另一端固定在进给装置(11)的静止部分。 |
地址 |
710049陕西省西安市咸宁路28号 |