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发明名称 Verfahren zur Reinigung eines Halbleiter-Wafers
摘要
申请公布号 DE69519460(D1) 申请公布日期 2000.12.28
申请号 DE19956019460 申请日期 1995.08.17
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 NAKANO, MASAMI;UCHIYAMA, ISAO;TAKAMATSU, HIROYUKI
分类号 B08B3/08;C11D3/04;C11D7/02;C11D7/08;C11D7/22;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
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