| 发明名称 |
Method for fabricating capacitors of semiconductor device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB0027297(D0) |
申请公布日期 |
2000.12.27 |
| 申请号 |
GB20000027297 |
申请日期 |
2000.11.08 |
| 申请人 |
HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C16/02;C23C16/18;C23C16/40;C23C16/56;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/314;H01L21/318;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/108 |
主分类号 |
C23C16/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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