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发明名称 TRENCH ISOLATION FOR MICROMECHANICAL DEVICES
摘要
申请公布号 EP1062684(A2) 申请公布日期 2000.12.27
申请号 EP19990903085 申请日期 1999.01.14
申请人 CORNELL RESEARCH FOUNDATION, INC. 发明人 ADAMS, SCOTT, G.;SHAW, KEVIN, A.;WEBB, RUSSELL, Y.;REED, BRYAN, W.;MACDONALD, NOEL, C.;DAVIS, TIMOTHY, J.
分类号 B81C1/00;B81B3/00;H01L21/76;H01L21/762;H01L29/84;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
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