发明名称 曝光机之能量积算控制器
摘要 本创作系提供一种曝光机的能量积算控制器,该曝光机包括有一用于容置一工作物在其之的框架、用于发出紫外线的紫外线发射单元,被置于该框架之一侧之用于感测由该紫外线发射单元所发出之紫外线之强度的感测器及用于防止该工作物暴露于紫外线之一可移动的遮光板及用于计算由紫外线发射单元所发出之紫外线之累积能量的能量积算控制器,该能量积算控制器包含:一光电转换器,该光电转换器系被连接至该感测器俾可接收由感测器所发出的光讯号并且将该光讯号转换成电流讯号;一电流/频率转换器,该电流/频率转换器系被连接至该光电转换器俾可接收由该光电转换器所发出的电流讯号并且将该电流讯号转换成频率讯号;一可程式化还辑控制器,系被连接至该电流/频率转换器俾可接收该频率讯号,该还辑控制器根据该频率讯号计算出紫外线的相对能量值并且将所得的相对能量值与一设定值做比较,当该相对能量值未达到该设定值时,该工作物继续被曝露于紫外线,当该相对能量值达到该设定值时,该可程式化还辑控制器作动该遮光板遮蔽该工作物来防止该工作物继续受到紫外线的照射及关闭该紫光线发射单元;及一LCD显示单元,该LCD显示单元系被连接至该可程式化还辑控制器俾可接收并即时显示该相对能量值,该显示单元可被作动来设定并提供该设定值至还辑控制器;藉由上述构造,新的设定值可随时经由该显示单元设定及提供至该逻辑控制器俾作准确度的校正。
申请公布号 TW416532 申请公布日期 2000.12.21
申请号 TW085204475 申请日期 1996.03.26
申请人 志圣工业股份有限公司 发明人 梁茂生
分类号 G03F7/20;G05B19/05 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人 恽轶群 台北巿南京东路三段二四八号七楼;康伟言 台北巿南京东路三段二四八号七楼
主权项 1.一种曝光机的能量积算控制器,该曝光机包括有 一用于容置一工作物在其之中央的框架、 用于发出紫外线的紫外线发射单元、被置于该框 架之一侧之用于感测由该紫外线发射单元所 发出之紫外线之强度的感测器及用于防止该工作 物曝露于紫外线之一可移动的遮光板及用于 计算由紫外线发射单元所发出之紫外线之累积能 量的能量积算控制器,该能量积算控制器包 含: 一光电转换器,该光电转换器系被连接至该感测器 俾可接收由感测器所发出的光讯号并且将 该光讯号转换成电流讯号; 一电流/频率转换器,该电流/频率转换器系被连接 至该光电转换器俾可接收由该光电转换 器所发出的电流讯号并且将该电流讯号转换成频 率讯号; 一可程式化逻辑控制器,系被连接至该电流/频率 转换器俾可接收该频率讯号,该逻辑控制 器根据该频率讯号计算出紫外线的相对能量値并 且将所得的相对能量値与一设定値做比较, 当该相对能量値未达到该设定値时,该工作物继续 被曝露于紫外线,当该相对能量値达到该 设定値时,该可程式化逻辑控制器作动该遮光板遮 蔽该工作物来防止该工作物继续受到紫外 线的照射及关闭该紫光线发射单元;及 一LCD显示单元,该显示单元系被连接至该可程式化 逻辑控制器俾可接收并即时显示该相对 能量値,该显示单元可被作动来设定并提供该设定 値至逻辑空制器; 藉由上述构造,新的设定値可随时经由该显示单元 设定及提供至该逻辑控制器俾作准确度的 校正。2.如申请专利范围第1项所述之能量积算控 制器,更包含一个被连接在该电流/频率转换器 与该可程式化逻辑控制器之间之用于放大由该电 流/频率转换器所输出之该频率讯号的输出 放大器。图式简单说明: 第一图系显示并合本创作较佳实施例之曝光机的 示意方块图。 第二图系显示一工作物被置放于一框架中的示意 平面图。 第三图系本创作较佳实施例的示意方块图。
地址 台北县林口乡工二工业区工八路二之一号