发明名称 被覆陶瓷硬质膜钢材之耐磨耗性质改良之方法
摘要 本发明系有关于一种被覆陶瓷硬质膜之耐磨耗性质改良之方法,其主要制程为将工具钢藉由复合无电镀(electroless composite plating )的方式先行被覆镍与陶瓷硬质粒子之复合被覆镀层,再利用薄膜气相沉积陶瓷硬质膜,形成复合被覆镀层;陶瓷硬质粒子添加的目的,其一为强化无电镀镍层,进一步增加表面陶瓷硬质膜的负荷承载能力,其二作为后续陶瓷硬质膜被覆时之晶种,进一步提升陶瓷硬质膜被覆镀层之附着性,使依本制程所得之复合镀层具高硬度、高附着性及优异的耐磨耗性之功效者。
申请公布号 TW415971 申请公布日期 2000.12.21
申请号 TW087103559 申请日期 1998.03.11
申请人 财团法人金属工业研究发展中心 发明人 陈钜昆;洪敏雄;林天财
分类号 C23C18/32;C23C18/54 主分类号 C23C18/32
代理机构 代理人 恽轶群 台北巿南京东路三段二四八号七楼;陈文郎 台北巿南京东路三段二四八号七楼
主权项 1.一种被覆陶瓷硬质膜钢材之耐磨耗性质改良之 方法,其主要系: 在无电镀液中添加陶瓷硬质粒子,利用无电解复合 镀金方式于工具钢上先行被覆镍与陶瓷硬 质粒子之复合镀层;其中,该无电镀液系为无电镀 镍液,其每公升之化学成分如下:镍金属 5-7(g/l)、次磷酸钠盐30-40(g/l)、氨水4-6(g/l);而该陶 瓷硬质粒子之添加量为2- 100(g/l); 再利用电浆化学气相沉积技术被覆陶瓷硬质膜;其 中,该被覆条件为基板温度:400-500℃ ;氢气主流流速:20-100sccm;氢气载流流速:150-250sccm; 氮气流速:100-250sccm ;R.F.放电功率:100-250W;工作压力:0.5-5torr;沉积时间:1 -3hr者。2.依据申请专利范围第1项所述之被覆陶瓷 硬质膜钢材之耐磨耗性质改良之方法,其中,该 陶瓷硬质粒子系为-SiC碳化矽陶瓷硬质粒子者。 3.依据申请专利范围第1项所述之被覆陶瓷硬质膜 钢材之耐磨耗性质改良之方法,其中,该 陶瓷硬质粒子系为氮化钛陶瓷硬质粒子者。4.依 据申请专利范围第1项所述之被覆陶瓷硬质膜钢材 之耐磨耗性质改良之方法,其中,该 陶瓷硬质粒子系为碳化钛陶瓷硬质粒子者。5.依 据申请专利范围第1项所述之被覆陶瓷硬质膜钢材 之耐磨耗性质改良之方法,其中,该 陶瓷硬质膜系为金属氮化物硬质膜者。6.依据申 请专利范围第5项所述之被覆陶瓷硬质膜钢材之耐 磨耗性质改良之方法,其中,该 陶瓷硬质膜系为氮化钛硬质膜者。7.依据申请专 利范围第1项所述之被覆陶瓷硬质膜钢材之耐磨耗 性质改良之方法,其中,该 陶瓷硬质膜系为金属碳化物硬质膜者。8.依据申 请专利范围第1项所述之被覆陶瓷硬质膜钢材之耐 磨耗性质改良之方法,其中,该 无电解复合镀金方式系为间歇式复合无电镀系统 者。图式简单说明: 第一图所示系本发明一较佳实施例之氮化钛-无电 镀Ni-P-SiC复合被覆镀层之示意图。 第二图所示系本发明一较佳实施例之氮化钛-无电 镀Ni-P-SiC复合被覆镀层之表面视硬 度与SiC含量之关系图。 第三图所示系本发明一较佳实施例之氮化钛-无电 镀Mi-P-SiC复合被覆镀层附着力与SiC 含量之关系图。 第四图所示系本发明一较佳实施例之Pin-On-Disk磨 耗测试机测试后之表面粗糙度变化 图。 第五图所示系本发明一较佳实施例之Pin-On-Disk磨 耗测试机测试后之表面观察形态图 。 第六图所示系本发明一较佳实施例之磨擦系数随 滑动距离变化之情形图。
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