| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein elektrostatischer Korrektor zur Beseitigung des Farbfehlers von Teilchenlinsen mit gerader optischer Achse und einem der Objektivlinse zuzuordnenden elektrostatischen Quadrupol, wobei in Stahlrichtung hinter den Quadrupol entlang der optischen Achse zwei Korrekturstücke angeordnet sind, jedes Korrekturstück drei elektrische Quadrupolfelder mit überlagertem Rundlinsenfeld aufweist, deren Quadrupolfelder jedoch relativ zueinander um einen Winkel von 90 Grad um die optische Achse gedreht sind und die Einstellung derart vorgenommen wird, dass das astigmatische Zwischenbild des einen Schnittes in einem Korrekturstück und das dazu senkrechte astigmatische Zwischenbild des anderen Schnittes im anderen Korrekturstück zu liegen kommt und ausgangsseitig schliesslich ein weiterer elektrostatischer Quadrupol angeordnet ist.</p> |
