ABRASIVE SOLUTION AND METHOD FOR CHEMICALLY-MECHANICALLY POLISHING A PRECIOUS METAL SURFACE
摘要
Die Erfindung betrifft eine Schleiflösung und ein Verfahren zum chemisch-mechanischen Polieren einer Edelmetall-Oberfläche, wobei durch den Zusatz eines Komplexbildners die Inertheit der Edelmetalloberfläche wirksam herabgesetzt wird.
申请公布号
WO0077107(A1)
申请公布日期
2000.12.21
申请号
WO2000DE01911
申请日期
2000.06.14
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG;BEITEL, GERHARD;SAENGER, ANNETTE;UNGER, EUGEN
