| 摘要 |
<p>Vorgeschlagen wird eine mikromechanisch hergestellte abstimmbare Kapazität, bestehend aus mindestens einer festen Elektrode (2) und mindestens einer beweglich aufgehängten Elektrode (3), welche jeweils gegeneinander als Gegenelektroden ausgebildet sind dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine feste Elektrode (2) und/oder mindestens eine bewegliche Elektrode (3) in einen Aktorelektrodenbereich (11) und einen davon elektrisch isolierten Kondensatorelektrodenbereich (9) aufgeteilt sind, und der Abstand zwischen Aktor elektrodenbereich und Gegenelektrode grösser als der Abstand zwischen Kondensatorelektrodenbereich und Gegenelektrode ist. Die Aufhängung der beweglichen Elektrode erfolgt dabei bevorzugt mittels mindestens zweier Federbalken. Durch den grösseren Abstand der Aktorelektrode von der Gegenelektrode als der Abstand von der Kondensatorelektrode von der Gegenelektrode tritt die Einschränkung der Kapazitätsvariation bei abstimmbaren Kondensatoren nach dem Stand der Technik der Technik nicht auf.</p> |
