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发明名称 METHOD OF FORMING PHOSPHOSILICATE GLASS HAVING A HIGH WET-ETCH RATE
摘要
申请公布号 EP1060286(A1) 申请公布日期 2000.12.20
申请号 EP19990911097 申请日期 1999.03.03
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 LOU, ISHING;CHING, CARY;LEE, PETER, W.;PAN, RONG;GEE, PAUL;CAMPANA, FRANCIMAR
分类号 C23C16/40;H01L21/316;(IPC1-7):C23C16/40 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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