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发明名称 Illumination optical system and illumination method
摘要
申请公布号 EP0922999(A3) 申请公布日期 2000.12.20
申请号 EP19980122948 申请日期 1998.12.03
申请人 NIKON CORPORATION 发明人 TANITSU, OSAMU
分类号 G02B27/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G02B27/00
代理机构 代理人
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