双孔梁形石英谐振式力传感器

摘要

一种双孔梁形石英谐振式力传感器,它包括一承受压力的双孔梁,在双孔梁受力压缩的部位上开设有由卡固槽、砧块以及石英振子组成的石英谐振传感装置;其中卡固槽开设在双孔梁受力压缩的部位上,卡固槽上设有上盖,卡固槽的内壁分别设有砧块、两砧块卡固石英振子,石英振子上引出两电极。卡固槽水平方向截面为有一定斜度的梯形,竖直方向垂直,所配合的砧块结合面与卡固槽斜度一致。本发明可将石英振子直接设置在测力的装置上,具有温度补偿性能,结构简单,安装方便,精度较高,成本降低。

主权项

1、一种双孔梁形石英谐振式力传感器，它包括一承受压力的双孔梁，其特征在于：在双孔梁受力压缩的部位上开设有由卡固槽、砧块以及石英振子组成的石英谐振传感装置；其中卡固槽开设在双孔梁受力压缩的部位上，卡固槽上设有上盖，卡固槽的内壁分别设有砧块、两砧块卡固石英振子，石英振子上引出两电极。