用于生产半导体产品的设备

摘要

本发明涉及一种用于生产半导体产品、特别是用于加工晶片的设备,它在至少一个净化室(2)中具有多个生产单元(1)和一个用于传送半导体产品的传送系统,其中所述生产单元(1)分别具有至少一个用来装卸半导体产品的装卸站(6)。所述传送系统具有一个输送系统,该输送系统在净化室(2)中设置在操作人员的步行高度上方的装卸站(6)的高度处。

主权项

1.一种用于生产半导体产品、特别是用于加工晶片的设备，它在至少一个净化室中具有多个生产单元和一个用于传送半导体产品的传送系统，其中所述生产单元分别具有至少一个用来装卸半导体产品的装卸站，其特征在于，所述传送系统具有一个输送系统，该输送系统在净化室(2)中设置在操作人员的步行高度上方的装卸站(6)的高度处。