发明名称 METHOD FOR PRODUCING A MICROELECTRONIC SEMICONDUCTOR COMPONENT
摘要
申请公布号 EP1060505(A1) 申请公布日期 2000.12.20
申请号 EP19980966374 申请日期 1998.12.19
申请人 DAIMLERCHRYSLER AG 发明人 NIEMANN, EKKEHARD;PANKNIN, DIETER;SKORUPA, WOLFGANG;WIRTH, HANS
分类号 H01L21/265;H01L21/04;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/268 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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