| 发明名称 |
Methods and apparatus for the in-process detection of workpieces |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2349214(B) |
申请公布日期 |
2000.12.20 |
| 申请号 |
GB20000018384 |
申请日期 |
1997.07.16 |
| 申请人 |
* SPEEDFAM-IPEC CORPORATION |
发明人 |
ROBERT F * ALLEN;PAUL * HOLZAPFEL;ANTHONY L * BARTELS;WARREN * LIN |
| 分类号 |
G05B19/401;(IPC1-7):B24B49/04;B24B37/04;G05B19/406;H01L21/66 |
主分类号 |
G05B19/401 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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