发明名称 SEMICONDUCTOR FORCE/TORQUE SENSOR
摘要
申请公布号 EP1060371(A1) 申请公布日期 2000.12.20
申请号 EP19980966664 申请日期 1998.12.22
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER 发明人 DORSCH, BERND;HOHE, HANS-PETER;SEITZER, DIETER
分类号 G01L1/18;G01L3/10;(IPC1-7):G01L1/18 主分类号 G01L1/18
代理机构 代理人
主权项
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