| 发明名称 |
MICROMACHINED MEMBRANE PARTICLE FILTER USING PARYLENE REINFORCEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1059979(A1) |
申请公布日期 |
2000.12.20 |
| 申请号 |
EP19980957706 |
申请日期 |
1998.11.06 |
| 申请人 |
CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY |
发明人 |
TAI, YU-CHONG;YANG, XING |
| 分类号 |
B01D39/20;B01D67/00;B01D71/02;B01D71/72;(IPC1-7):B01D24/00;B31D3/00 |
主分类号 |
B01D39/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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