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发明名称 Kapsel til en i ultrahøjvakuum arbejdende detektor
摘要
申请公布号 DK0710364(T3) 申请公布日期 2000.12.18
申请号 DK19940920895T 申请日期 1994.07.19
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH;UNIVERSITAET ZU KOELN;EURISYS MESURES 发明人 BERST, MARC;EBERTH, JUERGEN;JAEGER, HERBERT, M.;KAEMMERLING, HANS;LIEDER, RAINER, M.;RENFTLE, WALTER
分类号 G01T1/24;H01L31/0203;H01L31/117;(IPC1-7):G01T7/00 主分类号 G01T1/24
代理机构 代理人
主权项
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