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发明名称
摘要
申请公布号 JP3118858(B2) 申请公布日期 2000.12.18
申请号 JP19910090907 申请日期 1991.04.23
申请人 发明人
分类号 B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
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