发明名称 VERFAHREN ZUR VERDRAHTUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTES
摘要
申请公布号 AT197746(T) 申请公布日期 2000.12.15
申请号 AT19910304658T 申请日期 1991.05.22
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 INOUE, SHUNSUKE;HASEGAWA, MITSUTOSHI;WATANABE, NOBUO
分类号 H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/48;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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