发明名称 METHOD OF MANUFACTURING TRENCH FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100274976(B1) 申请公布日期 2000.12.15
申请号 KR19980037126 申请日期 1998.09.09
申请人 ANAM SEMICONDUCTOR., LTD. 发明人 CHO, GYUNG SU
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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