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发明名称 THE COATING METHOD AND SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100274709(B1) 申请公布日期 2000.12.15
申请号 KR19970060958 申请日期 1997.11.19
申请人 NEC CORPORATION 发明人 YAMADA YOSHIAKI
分类号 C23C14/34;C23C14/04;C23C14/22;C23C14/50;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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