| 发明名称 |
HIGH FREQUENCY SPUTTERING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100273326(B1) |
申请公布日期 |
2000.12.15 |
| 申请号 |
KR19980053131 |
申请日期 |
1998.12.04 |
| 申请人 |
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
SIN, JUNG-MIN |
| 分类号 |
H01L21/203;C23C14/34;C23C14/40;H01J37/34;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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